椭圆仪怎么调模式

椭圆仪是一种精密的光学仪器，用于测量材料的特性参数，包括折射率、厚度、薄膜厚度等。在使用椭圆仪之前，需要对其进行调模式的操作，以保证测试结果的准确性和可靠性。

调模式是指调整椭圆仪系统的参数，使其适应实际的测量需求。主要包括以下几个步骤：

1. 开机预热：将椭圆仪系统通电，进行预热。预热时间一般为10-15分钟，目的是使光路稳定，达到工作状态。

2. 调整光源：椭圆仪使用的光源是单色光源，可以通过选择不同的滤光片来调整光源的波长。在调整光源之前，需要确保光源的亮度适中，以避免过亮或过暗对测试结果的影响。

3. 标定参考样品：标定参考样品是调模式的重要步骤。首先选择一个已知参数的样品，如SiO2薄膜，将其放置在椭圆仪台上。通过调整椭圆仪系统的参数，如入射角、出射角等，使得测量结果与已知参数相符。这一步骤可以验证椭圆仪系统的性能，并确定系统参数的合理范围。

4. 调整样品台高度：在测量样品之前，需要调整样品台的高度，使得样品与光路平行。可以通过观察在光路中样品台上的光线反射状态来进行调整，确保光线反射均匀，无明显的暗角。

5. 测试样品：将待测试的样品放置在样品台上，调整样品台高度，使得样品与光路平行。选择合适的入射角和出射角，并进行测量。根据测量结果，可以得到样品的特性参数。

在调模式的过程中，需要不断进行实验和验证，以确定最佳的系统参数。此外，还需要注意保持试样平整干净，避免灰尘、油污等对测试结果的影响。

调模式是椭圆仪使用中的一项重要工作，正确的调模式操作可以确保测量结果的准确性和可靠性。因此，在使用椭圆仪时，应认真按照操作手册和相关指导进行调模式，以获得准确的测试结果。